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1. Introduction 1. 서론 Integrated systems combining sputtering deposition chambers with glove boxes are crucial for research involving air-sensitive materials. Dawoovac recently undertook a repair and overhaul project for such a complex system at a laboratory, comprising interconnected DC Sputtering, Glove Box, and RF Sputtering units. Maintaining the performance and reliability of these integrated systems requires specialized expertise. This case study details the overhaul process performed by Dawoovac. 스퍼터링 증착 챔버와 글러브 박스를 결합한 연동 시스템은 공기에 민감한 재료를 다루는 연구에 필수적입니다. 다우백은 최근 한 연구실에 설치된 DC 스퍼터링, 글러브 박스, RF 스퍼터링 유닛이 상호 연결된 복합 시스템에 대한 수리 및 오버홀 프로젝트를 수행했습니다. 이러한 연동 시스템의 성능과 신뢰성을 유지하기 위해서는 전문적인 기술력이 요구됩니다. 본 사례 연구는 다우백이 수행한 오버홀 과정을 상세히 설명합니다. 2. System Overview and Initial State 2. 시스템 개요 및 초기 상태 The system consists of a DC sputtering unit, a central glove box, and an RF sputtering unit, allowing for substrate transfer and processing under an inert atmosphere. The initial assessment revealed the need for overhaul to restore optimal performance across the interconnected units. 본 시스템은 DC 스퍼터링 유닛, 중앙 글러브 박스, RF 스퍼터링 유닛으로 구성되어 불활성 분위기 하에서 기판 이송 및 공정 처리가 가능합니다. 초기 진단 결과, 연동된 유닛 전반의 최적 성능 복원을 위해 오버홀이 필요한 상태였습니다. DC - Glove Box - RF 3. Overhaul Process: DC Sputtering System 3. 오버홀 과정: DC 스퍼터링 시스템 The overhaul process for the DC sputtering system involved several key steps. First, the main chamber was disassembled for thorough inspection and cleaning of internal components. After meticulous cleaning and component checks, the chamber was reassembled. To verify performance, a DC gun test was conducted using an Aluminum target under controlled conditions (Gas Flow: 30-40 sccm, Base Pressure: 5times10−2 Torr), confirming stable plasma generation. DC 스퍼터링 시스템의 오버홀은 몇 가지 주요 단계를 포함했습니다. 먼저, 내부 부품의 정밀 검사 및 세척을 위해 메인 챔버를 분해했습니다. 정밀 세척 및 부품 점검 후 챔버를 재조립했습니다. 성능 검증을 위해, 통제된 조건(가스 유량: 30-40 sccm, 기본 압력: 5times10−2 Torr) 하에서 알루미늄 타겟을 사용하여 DC 건 테스트를 수행했으며, 안정적인 플라즈마 생성을 확인했습니다. 4. Overhaul Process: Glove Box System 4. 오버홀 과정: 글러브 박스 시스템 The central glove box unit, crucial for maintaining an inert environment and enabling sample transfer between sputtering systems, underwent necessary inspections and maintenance. This ensured its integrity and proper sealing, as well as seamless interfacing with the adjacent DC and RF sputtering chambers after their respective overhauls. DC 및 RF 스퍼터링 시스템 간의 시료 이송 및 불활성 환경 유지에 핵심적인 역할을 하는 중앙 글러브 박스 유닛에 대해 필요한 검사 및 유지보수를 수행했습니다. 이를 통해 글러브 박스의 기밀성 및 밀봉 상태를 확인하고, 오버홀된 양측 스퍼터링 챔버와의 원활한 연동이 가능하도록 조치했습니다. 5. Overhaul Process: RF Sputtering System 5. 오버홀 과정: RF 스퍼터링 시스템 Similar to the DC system, the RF sputtering unit required disassembly and reassembly of its main chamber for cleaning and component checks. Post-overhaul, an RF gun test was performed using an Indium target (Gas Flow: 40-50 sccm, Base Pressure: 5times10−2 Torr) to confirm the functionality of the RF generator and matching network, achieving stable plasma. DC 시스템과 유사하게, RF 스퍼터링 유닛 또한 세척 및 부품 점검을 위해 메인 챔버의 분해 및 재조립 과정이 필요했습니다. 오버홀 후에는 인듐 타겟을 사용하여 RF 건 테스트(가스 유량: 40-50 sccm, 기본 압력: 5times10−2 Torr)를 실시하여 RF 제너레이터 및 매칭 네트워크의 기능을 확인하고 안정적인 플라즈마를 구현했습니다. 6. RF Sputtering System Operating Procedure (General Guide) 6. RF 스퍼터링 시스템 작동 절차 (일반 가이드) The following is a general operating sequence for the RF sputtering system. Specific parameters may vary depending on the process recipe. 다음은 RF 스퍼터링 시스템의 일반적인 작동 순서입니다. 특정 파라미터는 공정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다. Turn on Foreline valve for approx. 5 min, then turn on Roughing valve and wait until low vacuum base pressure (0.01-0.005 Torr) is reached. Foreline 밸브를 약 5분간 켠 후, Roughing 밸브를 켜고 저진공 기본 압력(0.01-0.005 Torr)까지 기다립니다. Once base pressure is reached, open Foreline valve, turn on T.M.P power, wait for normal RPM, open Main valve, open Through valve. Turn on high vacuum gauge, wait for high vacuum base pressure (0.0005-0.00005 Torr), then turn off high vacuum gauge. 기본 압력 도달 시, Foreline 밸브 열고, T.M.P 전원 켜고 정상 RPM까지 대기 후, Main 밸브 열고, Through 밸브 엽니다. 고진공 게이지 켜고 고진공 기본 압력(0.0005-0.00005 Torr) 도달 후 고진공 게이지를 끕니다. Close Through valve, set Ar gas flow using MFC ('20-150 SCCM' range), introduce Ar gas. Through 밸브를 닫고, MFC를 이용하여 Ar 가스 유량 설정('20-150 SCCM' 범위) 후 Ar 가스를 주입합니다. Adjust Through valve to reach process pressure (typically 0.003-0.008 Torr). (Turn on Rotate, Heater if needed). Through 밸브를 조절하여 공정 압력(일반적으로 0.003-0.008 Torr)에 맞춥니다. (필요시 Rotate, Heater 켭니다.) When conditions are ready, open Shutter, set desired RF power (W), then open Main shutter. 조건 완료 시, Shutter 열고, 원하는 RF 전력(W) 설정 후 Main shutter를 엽니다. Observe plasma color. 플라즈마 색상을 관찰합니다. After desired deposition time, reduce RF Power, wait 5 min, then turn off RF power. 원하는 증착 시간 후, RF 전력을 줄이고, 5분 후 RF 전원을 끕니다. Close Rotate, Heater, Shutter, Gas valve. Rotate, Heater, Shutter, Gas 밸브를 닫습니다. Open Through valve to pump out residual gas and vapor. Through 밸브를 열어 잔여 가스 및 증기를 펌핑합니다. When pumping is complete, close Through and Main vacuum valves. Wait for T.M.P RPM to decrease (approx. 30 min), then close Foreline valve. 펌핑 완료 시, Through 및 Main 진공 밸브를 닫습니다. T.M.P RPM 감소(약 30분) 후 Foreline 밸브를 닫습니다. Vent the chamber to atmospheric pressure. 챔버를 대기압까지 Venting 합니다. Open chamber and check process results. 챔버를 열고 공정 결과를 확인합니다. 7. System Re-integration and Final State 7. 시스템 재연동 및 최종 상태 Following the successful overhaul of the individual DC and RF sputtering units and maintenance of the glove box, the systems were carefully re-integrated. Final checks confirmed the overall functionality and restored performance of the complete integrated system, ready for research operations at the laboratory. 개별 DC 및 RF 스퍼터링 유닛의 성공적인 오버홀과 글러브 박스 유지보수 후, 시스템들은 신중하게 재연동되었습니다. 최종 점검을 통해 전체 연동 시스템의 기능과 복원된 성능을 확인하였으며, 한 연구실에서의 연구 운영 준비를 완료했습니다. 8. Conclusion 8. 결론 This project highlights Dawoovac's capability in successfully overhauling complex, multi-component research systems. Through systematic disassembly, cleaning, component replacement, and rigorous testing, the integrated DC/RF Sputtering and Glove Box system at a laboratory was fully restored to optimal operational condition. Dawoovac is committed to providing high-quality maintenance and repair services for advanced research equipment. 본 프로젝트는 복잡한 다중 구성 요소 연구 시스템을 성공적으로 오버홀하는 다우백의 역량을 보여줍니다. 체계적인 분해, 세척, 부품 교체 및 엄격한 테스트를 통해 한 연구실의 DC/RF 스퍼터링 및 글러브 박스 연동 시스템은 최적의 작동 상태로 완벽하게 복원되었습니다. 다우백은 첨단 연구 장비에 대한 고품질 유지보수 및 수리 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 9. Inquiries and Services 9. 기술 문의 및 서비스 For inquiries regarding sputtering system overhauls, glove box services, or other vacuum technology support, please contact Dawoovac. 스퍼터링 시스템 오버홀, 글러브 박스 서비스 또는 기타 진공 기술 지원에 대한 문의는 다우백으로 연락 주시기 바랍니다.

1. Introduction 1. 서론 Turbo Molecular Pumps (TMPs) are critical components for achieving high vacuum in various research and industrial applications. Regular overhauls are essential to maintain their optimal performance, ensure reliability, and extend their operational lifespan. Dawoovac recently received an Adixen (Alcatel) ATP400 model TMP for standard overhaul service. This post outlines the initial inspection, diagnosis, and required service procedures based on the findings. 터보 분자 펌프(TMP)는 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 고진공 환경을 달성하기 위한 핵심 부품입니다. 펌프의 최적 성능 유지, 신뢰성 확보 및 작동 수명 연장을 위해서는 정기적인 오버홀(Overhaul)이 필수적입니다. 다우백(Dawoovac)은 최근 표준 오버홀 서비스를 위해 Adixen(Alcatel) ATP400 모델 TMP를 입고 받아 정밀 진단을 수행했습니다. 본 게시물은 해당 펌프의 초기 검사, 진단 결과 및 필요한 서비스 절차를 개괄적으로 설명합니다. 2. Initial Inspection and Disassembly 2. 초기 검사 및 분해 Upon receiving the Adixen ATP400 pump, an initial visual inspection was performed. Subsequently, Dawoovac's experienced technicians proceeded with a systematic disassembly process to allow for detailed inspection of internal components. Adixen ATP400 펌프 입고 후 초기 외관 검사를 진행했습니다. 이어서, 다우백의 숙련된 기술팀은 내부 부품의 정밀 검사를 위해 체계적인 분해 절차를 수행했습니다. 3. Component Assessment 3. 부품 정밀 진단 Detailed examination of the disassembled parts revealed several conditions requiring attention: 분해된 부품에 대한 정밀 검사 결과, 다음과 같은 주요 문제점들이 확인되었습니다. Rotor and Shaft:  Inspected before cleaning to assess general condition and potential damage. 로터 및 샤프트:  세척 전 상태 검사를 통해 전반적인 상태 및 손상 가능성을 평가했습니다. Stator/Spacer Set:  Significant contamination was observed on the stator and spacer components, which can impede pump performance. 스테이터/스페이서 세트:  스테이터 및 스페이서 부품에서 심각한 오염이 관찰되었으며, 이는 펌프 성능 저하의 원인이 될 수 있습니다. Motor:  Inspected before cleaning. 모터:  세척 전 상태를 검사했습니다. Bearings:  The ceramic ball bearings were found to be broken, a critical failure requiring immediate replacement. 베어링:  세라믹 볼 베어링이 파손된 상태로 확인되었으며, 이는 즉각적인 교체가 필요한 심각한 문제입니다. Serial Number / Connector:  Documented for service records. 시리얼 넘버 / 커넥터:  서비스 기록을 위해 해당 정보를 확인했습니다. 4. Overhaul Requirements and Recommended Actions 4. 오버홀 필요 사항 및 조치 Based on the component assessment, a standard overhaul (O/H) procedure is required for this Adixen ATP400 pump. The necessary actions include: 부품 진단 결과에 따라, 이 Adixen ATP400 펌프에는 표준 오버홀(O/H) 절차가 필요합니다. 필수적인 조치 사항은 다음과 같습니다. Thorough Cleaning:  All disassembled parts must be meticulously cleaned to remove contamination. 정밀 세척:  분해된 모든 부품의 오염 물질 제거를 위한 정밀 세척이 필요합니다. Bearing Replacement:  The broken ceramic ball bearings (2 pcs) must be replaced with new ones. 베어링 교체:  파손된 세라믹 볼 베어링(2개)은 신품으로 반드시 교체해야 합니다. O-ring Set Replacement:  Standard procedure involves replacing the O-ring set to ensure proper sealing. O-링 세트 교체:  적절한 밀봉(Sealing) 성능 확보를 위해 O-링 세트 교체가 표준 절차에 포함됩니다. 5. Benefits of Overhaul 5. 오버홀의 효과 Performing these overhaul procedures will restore the Adixen ATP400 pump's performance, potentially improving ultimate vacuum levels and pumping speed. Replacing wear parts like bearings and O-rings significantly enhances the pump's reliability, extends its operational lifespan, and helps prevent costly unscheduled downtime due to unexpected failures. 이러한 오버홀 절차를 수행하면 Adixen ATP400 펌프의 성능이 복원되어 도달 진공도 및 펌핑 속도가 개선될 수 있습니다. 베어링 및 O-링과 같은 마모 부품을 교체하면 펌프의 신뢰성이 크게 향상되고 작동 수명이 연장되며, 예기치 않은 고장으로 인한 비용 손실 및 가동 중단을 예방하는 데 도움이 됩니다. 6. Conclusion 6. 결론 The initial assessment of the Adixen ATP400 Turbo Molecular Pump indicated the necessity for a standard overhaul, focusing on component cleaning and the replacement of critical wear parts, particularly the broken bearings. Dawoovac possesses the specialized expertise and facilities required to perform comprehensive overhauls on various TMP models, ensuring restored performance and extended reliability for critical vacuum systems. Adixen ATP400 터보 분자 펌프의 초기 진단 결과, 부품 세척 및 핵심 마모 부품(특히 파손된 베어링) 교체에 중점을 둔 표준 오버홀이 필요한 것으로 나타났습니다. 다우백은 다양한 TMP 모델에 대한 포괄적인 오버홀 수행에 필요한 전문 기술과 설비를 갖추고 있으며, 이를 통해 핵심 진공 시스템의 성능 복원과 신뢰성 향상을 보장합니다. 7. Inquiries and Services 7. 기술 문의 및 서비스 For inquiries regarding Turbo Molecular Pump overhauls or other vacuum technology services provided by Dawoovac, please contact us. We are dedicated to providing high-quality service and support for your vacuum system needs. 다우백에서 제공하는 터보 분자 펌프 오버홀 또는 기타 진공 기술 서비스에 대한 문의는 아래 연락처로 연락 주시기 바랍니다. 고객의 진공 시스템 요구에 부응하는 고품질 서비스와 지원을 제공하기 위해 최선을 다하겠습니다.

1. Introduction 1. 서론 Safe exhausting of contaminated gases and oil mist generated during the operation of laboratory equipment such as Oil Rotary Pumps and Glove Boxes is essential for maintaining a safe research environment and ensuring equipment longevity. Dawoovac provides expert services for designing and installing effective exhaust solutions, including In-Line Exhaust Fan systems, tailored to meet these requirements. This post details the specifications, components, and an installation case study of an In-Line Fan system implemented by Dawoovac. 오일 로터리 펌프(Oil Rotary Pump) 및 글러브 박스(Glove Box)와 같은 실험실 장비 운용 시 발생하는 오염된 가스와 오일 미스트를 안전하게 배출하는 것은 안전한 연구 환경 유지 및 장비 수명 확보에 필수적입니다. 다우백(Dawoovac)은 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 인라인 배기 팬(In-Line Fan) 시스템을 포함한 효과적인 배기 솔루션의 설계 및 설치 전문 서비스를 제공합니다. 본 게시물은 다우백에서 설치한 인라인 배기 팬 시스템의 주요 사양, 구성 요소 및 설치 사례를 상세히 다룹니다. 2. System Overview 2. 시스템 개요 The In-Line Exhaust Fan system is designed to be directly connected to the exhaust line of laboratory equipment. Its primary function is to capture and safely vent potentially hazardous or contaminating gases and oil mist aerosols to the exterior. This system contributes to maintaining a clean and safe working environment through efficient airflow and integrated filtration capabilities. 본 시스템에 적용된 인라인 배기 팬은 실험 장비의 배기 라인에 직접 연결되어, 내부에서 발생하는 잠재적 유해 가스 및 에어로졸 형태의 오일 미스트를 포집하여 외부로 안전하게 배출하도록 설계되었습니다. 효율적인 공기 흐름과 필터링 기능을 통해 청결하고 안전한 작업 환경 유지에 기여합니다. 3. Technical Specifications 3. 기술 사양 The key technical specifications for the In-Line Exhaust Fan model used in this installation case are presented below: 본 설치 사례에 적용된 인라인 배기 팬 모델의 주요 기술 사양은 다음과 같습니다. Specification Value Model Type In-Line Fan Power Consumption 55 W Current 0.25 A Maximum Airflow 960,m3/h Maximum Static Pressure 20,mmH_2O Duct Size phi200,mm Primary Filter Size 274,mmtimes298,mm Secondary Filter (Fiber) Size 274,mmtimes298,mm 4. Filtration System 4. 필터 시스템 A two-stage filtration system is incorporated for effective removal of contaminants: 효과적인 오염 물질 제거를 위해 2단계 필터 시스템이 적용되었습니다: Primary Filter:  Primarily captures larger oil mist particles, reducing the load on the secondary filter and extending its lifespan. 1차 필터:  상대적으로 큰 입자의 오일 미스트를 우선적으로 포집하여 후단 필터의 부하를 줄이고 수명을 연장시킵니다. Secondary Filter (Fiber Filter):  Filters finer particles and residual contaminants that pass through the primary filter, ensuring the cleanliness of the exhausted air. 2차 필터 (섬유 필터):  1차 필터를 통과한 미세 입자 및 잔여 오염 물질을 정밀하게 여과하여 배출 공기의 청정도를 확보합니다. Correct installation, ensuring the primary filter faces the fan according to the airflow direction, is crucial for optimal performance. 필터 조립 시에는 공기 흐름 방향을 고려하여 1차 필터가 팬 방향으로 향하도록 정확하게 설치하는 것이 중요합니다. 5. Key Components 5. 주요 구성 요소 Inlet Ports:  Connection points for exhaust lines from contaminant sources, such as oil mist traps or glove box vents. 흡입구:  오일 미스트 트랩 또는 글러브 박스 배기 라인 등 오염 가스 발생원과 연결되어 가스를 시스템 내부로 유입시키는 포트입니다. Drain Valve:  Allows for the periodic draining of collected liquid oil or condensate from the filter system. 드레인 밸브:  필터 시스템에서 포집된 액상의 오일이나 응축수를 배출하기 위한 밸브입니다. 6. Installation Case Study 6. 설치 사례 연구 The following images illustrate the installation process of the In-Line Exhaust Fan system at a client's facility. The system inlets were connected to the target equipment's exhaust lines. The exhaust ducting was safely routed to the exterior through a custom-fabricated stainless steel (SUS) panel fitted into a window frame. Post-installation checks confirmed the system's normal operation and stable exhaust performance. 다음은 실제 연구 시설 현장에 인라인 배기 팬 시스템을 설치한 사례입니다. 시스템 흡입구는 대상 장비의 배기 라인에 연결되었으며, 배출 덕트는 창문에 맞춤 제작된 스테인리스 스틸(SUS) 판재를 통해 외부로 안전하게 설치되었습니다. 설치 완료 후 시운전을 통해 시스템의 정상적인 작동과 안정적인 배기 성능을 확인하였습니다. 7. Conclusion 7. 결론 Implementing a reliable exhaust system is crucial for ensuring air quality and safety within laboratory environments. Dawoovac leverages its extensive experience and technical expertise to provide optimized exhaust solutions, including In-Line Fan systems, tailored to specific equipment and facility requirements. Our professional installation services contribute to enhancing our clients' research environments. 효과적인 배기 시스템 구축은 실험실 내 공기질 관리와 안전 확보를 위해 필수적입니다. 다우백은 다년간의 경험과 기술력을 바탕으로 고객의 특정 장비 및 실험 환경에 최적화된 인라인 배기 팬 시스템을 포함한 다양한 배기 솔루션을 제안하고, 전문적인 설치 서비스를 제공하여 고객의 연구 환경 개선에 기여하고 있습니다. 8. Inquiries and Services 8. 기술 문의 및 서비스 For further information or technical consultation regarding Dawoovac's In-Line Exhaust Fan systems and related services, please contact us using the details below. We are committed to providing the best solutions to meet your needs. 다우백의 인라인 배기 팬 시스템 및 관련 서비스에 대한 추가 정보나 기술 상담이 필요하시면 아래 연락처로 문의해 주시기 바랍니다. 고객의 요구에 부응하는 최적의 솔루션을 제공하기 위해 항상 노력하겠습니다.

Dawoovac recently successfully completed the diagnosis and repair of complex issues in a glovebox operating at a domestic research institute. 다우백은 최근 국내 한 연구기관에서 운영 중인 글러브 박스에서 발생한 복합적인 문제들에 대한 진단 및 수리 작업을 성공적으로 완료했습니다. This post details the performance restoration process for that glovebox, sharing Dawoovac's technical solutions for the main problems: ▲Lithium sample oxidation, ▲Persistent PPM rise after regeneration, and ▲Refrigeration system failure. 본 게시물은 해당 글러브 박스의 성능 복원 과정을 상세히 소개하며, 주요 문제점이었던 ▲리튬 샘플 산화 ▲정화(Regeneration) 후 PPM 지속 상승 ▲냉동 기능 고장에 대한 다우백의 기술적인 해결 과정을 공유하고자 합니다. 1. Problem Diagnosis 1. 문제 진단 The glovebox in question exhibited the following major issues: 의뢰받은 글러브 박스는 다음과 같은 주요 문제점을 나타내고 있었습니다. Lithium Material Oxidation: Powder-form oxidation was observed on lithium (Li) metal samples stored inside the glovebox. This indicated a problem with the purity management of the internal atmosphere. 리튬 소재 산화: 글러브 박스 내부에 보관 중인 리튬(Li) 금속 샘플에서 분말 형태의 산화 현상이 관찰되었습니다. 이는 내부 분위기의 순도 관리에 문제가 있음을 시사합니다. Rising PPM Levels: Even after performing the regeneration process, the moisture and oxygen concentration (ppm) did not stabilize and gradually increased. This suggested functional degradation or failure of the column, a key component of the purification system. PPM 수치 상승: 정화(Regeneration) 공정을 수행해도 수분 및 산소 농도(ppm)가 안정화되지 않고 점진적으로 증가하는 현상이 발생했습니다. 이는 정화 시스템의 핵심 부품인 칼럼(Column)의 기능 저하 또는 고장을 의심하게 합니다. Refrigeration System Failure: A significant difference occurred between the setpoint (5℃) of the glovebox's temperature control unit and the actual measured temperature (37.4℃), rendering the refrigeration system non-operational. 냉동 기능 고장: 글러브 박스 내 온도 조절 장치의 설정값(5℃)과 실제 측정값(37.4℃) 사이에 큰 차이가 발생하여, 냉동 시스템의 정상적인 작동이 불가능한 상태였습니다. 2. Cause Analysis and Resolution Process 2. 원인 분석 및 해결 과정 2.1. Lithium Oxidation & Rising PPM (Column Issue Resolution) 2.1. 리튬 산화 및 PPM 상승 (칼럼 문제 해결) Lithium oxidation primarily occurs due to reactions with moisture or oxygen inside the glovebox. 리튬의 산화는 주로 글러브 박스 내부의 수분 또는 산소와의 반응으로 인해 발생합니다. The lithium oxidation observed alongside the continuously rising PPM levels strongly indicated a problem with the column system responsible for purifying the internal atmosphere. PPM 수치가 지속적으로 상승하는 현상과 함께 관찰된 리튬 산화는 내부 분위기를 정화하는 칼럼 시스템에 문제가 발생했음을 강하게 시사합니다. Consequently, the Dawoovac technical team removed the purification system columns (for moisture/oxygen removal and solvent removal) and transported them to headquarters for detailed diagnosis. 이에 따라, 다우백 기술팀은 정화 시스템의 칼럼(수분/산소 제거용, 솔벤트 제거용)을 분리하여 정밀 진단을 위해 본사로 이동시켰습니다. Left: Moisture/Oxygen Removal, Right: Solvent Removal Column disassembly revealed that the catalyst for moisture and oxygen removal had undergone chemical reactions due to continuous exposure to a high PPM environment, eventually leading to catalyst fouling and solidification, rendering it non-functional. 칼럼 분해 결과, 수분 및 산소 제거용 촉매가 높은 PPM 환경에 지속적으로 노출되어 화학 반응이 진행되었고, 결국 촉매가 고착화(fouling and solidification)되어 정화 기능을 상실한 상태임을 확인했습니다. The solvent removal column showed similar issues. 솔벤트 제거용 칼럼 또한 유사한 문제를 보였습니다. Resolution: As the damaged catalyst could not be regenerated, the entire columns, including the internal catalyst, were replaced with newly manufactured ones. 해결: 손상된 촉매는 재생이 불가능하므로, 내부 촉매가 포함된 칼럼 전체를 신규 제작하여 교체했습니다. Caution: If the moisture or oxygen concentration (ppm) inside the glovebox becomes abnormally high, immediately stop the operation of the purification system's circulation blower. Continuous circulation of gas containing high concentrations of impurities through the column can cause rapid catalyst degradation and fouling, shortening the column's lifespan and necessitating replacement. 주의사항: 글러브 박스 내부의 수분 또는 산소 농도(ppm)가 비정상적으로 높은 상태에서는 정화 시스템의 순환 블로워(Circulation Blower) 작동을 즉시 중단해야 합니다. 높은 농도의 불순물이 포함된 가스가 칼럼을 계속 순환할 경우, 촉매의 급격한 열화 및 고착화를 유발하여 칼럼의 수명을 단축시키고 교체가 불가피하게 됩니다. 2.2. Refrigeration System Failure (Compressor and Condenser Replacement) 2.2. 냉동 기능 고장 (컴프레셔 및 응축기 교체) The reason for the glovebox internal temperature rising significantly to 37.4℃, far above the setpoint of 5℃, was diagnosed as failure of the compressor and condenser, key components of the refrigeration system, along with refrigerant-related issues. 글러브 박스 내부 온도가 설정값(5℃)보다 현저히 높은 37.4℃까지 상승한 원인은 냉동 시스템의 핵심 부품인 컴프레셔(Compressor)와 응축기(Condenser)의 고장 및 냉매(Refrigerant) 관련 문제로 진단되었습니다. Resolution: The malfunctioning existing compressor and condenser were removed and replaced with new units. After the replacement, the glovebox internal temperature was properly controlled according to the setpoint. 해결: 고장 난 기존 컴프레셔와 응축기를 철거하고, 신품으로 교체 설치했습니다. 교체 작업 후, 글러브 박스 내부 온도는 설정값에 맞게 정상적으로 제어되었습니다. Before After 3. Conclusion 3. 결론 Based on precise diagnosis and professional expertise, Dawoovac successfully resolved the complex issues of the research institute's glovebox. 다우백은 정밀한 진단과 전문적인 기술력을 바탕으로 연구기관 글러브 박스의 복합적인 문제들을 성공적으로 해결했습니다. Through key component interventions, including ▲new fabrication and replacement of purification columns and ▲replacement of the refrigeration system's compressor and condenser, the glovebox's high-purity atmosphere maintenance function and precise temperature control performance were fully restored. 핵심 부품인 ▲정화 칼럼 신규 제작 및 교체 ▲냉동 시스템 컴프레셔 및 응축기 교체를 통해 글러브 박스 내부의 높은 순도 유지 기능과 정밀한 온도 제어 성능을 완벽하게 복원하였습니다.

Overview Dawoovac is a professional vacuum pump repair company that disassembles and meticulously inspects the internal components of your vacuum pump. We then clean, repair, or replace parts as needed. This blog post showcases Dawoovac's professional repair services by comparing the vacuum pump's interior before and after repair. 다우백은 진공 펌프 수리 전문 업체로, 고객의 진공 펌프를 분해하여 내부 부품의 상태를 꼼꼼하게 점검하고 필요에 따라 세척, 수리 또는 교체를 수행합니다. 이 블로그 게시물에서는 진공 펌프 내부 수리 전후 사진을 비교하여 다우백의 전문적인 수리 서비스를 소개합니다. Before Repair The pump's interior was contaminated due to adhesion and particles, which can cause performance degradation and pump failure. 수리 전 펌프 내부는 고착 및 입자로 인해 오염된 상태였으며, 이는 성능 저하 및 펌프 고장의 원인이 될 수 있습니다. Contaminants accumulated inside the pump can reduce its efficiency and lifespan. 펌프 내부에 쌓인 오염 물질은 효율성을 떨어뜨리고 수명을 단축시킬 수 있습니다. Adhesion and wear of internal pump components can also occur. 펌프 내부 부품의 고착 및 마모가 발생할 수 있습니다. Contaminants inside the pump can hinder its smooth operation. 펌프 내부의 오염 물질로 인해 펌프 작동이 원활하지 않을 수 있습니다. After Repair Dawoovac thoroughly cleaned the pump's interior and repaired or replaced any adhered components. 수리 후 다우백은 펌프 내부를 깨끗하게 세척하고 고착된 부품을 수리 또는 교체했습니다. The necessary adjustments were made to optimize pump performance. 펌프 성능을 최적화하기 위해 필요한 조정 작업을 수행했습니다. The pump's interior has been cleaned of contaminants, and the components are now functioning correctly. 펌프 내부의 오염 물질이 제거되고 부품이 정상적으로 작동합니다. The cleaned internal pump components are restored after repair and cleaning. 수리 및 세척 후 깨끗해진 펌프 내부 부품이 복원됩니다. The adhesion and wear issues of the internal pump components have been resolved, ensuring the pump's smooth operation. 펌프 내부 부품의 고착 및 마모 문제가 해결되어 펌프가 원활하게 작동합니다. Contact dawoovac@dawoovac.com 042-936-1415 문의 dawoovac@dawoovac.com 042-936-1415

Overview This document provides a detailed guide on how to replace the Galvanic Oxygen Sensor Series 3500. 개요 본 문서에서는 Galvanic Oxygen Sensor Series 3500의 교환 방법에 대해 자세히 설명합니다. Replacement Procedure 교환 절차 Close the Oxygen Sensor Valve : Before replacing the sensor, close the Oxygen Sensor Valve. Oxygen Sensor Valve 잠그기 : 센서 교체 전에 Oxygen Sensor Valve를 잠급니다. Remove the bolts : Using a Phillips head screwdriver, remove the 4 bolts that secure the sensor. 볼트 제거 : 십자 드라이버를 사용하여 센서를 고정하는 볼트 4개를 풉니다. Disconnect the communication cable : Disconnect the communication cable connected to the sensor. 통신선 분리 : 센서와 연결된 통신선을 분리합니다. Remove the sensor mounting bolts : Using a 9/64 wrench, remove the 3 bolts that secure the sensor. 센서 고정 볼트 제거 : 9/64 렌치를 사용하여 센서를 고정하는 볼트 3개를 풉니다. Replace the sensor : Carefully replace the old sensor with a new one, paying attention to the sensor orientation. 센서 교체 : 센서 방향에 주의하여 새 센서로 교체합니다. Reassemble : Reassemble the sensor in the reverse order of disassembly. 조립 : 분해와 역순으로 센서를 조립합니다. Precautions Pay attention to the sensor orientation when installing the sensor. Be careful not to let the O-Ring fall out when installing the sensor. Check the communication cable connection. Check that the Oxygen Valve is open. 주의 사항 센서 장착 시 방향에 주의합니다. 센서 장착 시 O-Ring이 빠지지 않도록 주의합니다. 통신선 연결을 확인합니다. Oxygen Valve가 열려 있는지 확인합니다. Additional Information For safety reasons, it is recommended that a qualified technician perform the sensor replacement. After replacing the sensor, check that the sensor is functioning properly. For inquiries regarding sensor replacement, please contact dawoovac@dawoovac.com  or 042-936-1415. 추가 정보 센서 교체 작업은 안전을 위해 전문가가 수행하는 것이 좋습니다. 센서 교체 후에는 센서가 정상적으로 작동하는지 확인합니다. 센서 교체 관련 문의는 dawoovac@dawoovac.com 또는 042-936-1415로 연락 주시기 바랍니다.

Glove boxes are essential equipment in scientific fields, especially when handling sensitive materials or requiring a controlled environment. Gloves are a critical component of glove boxes, allowing operators to safely manipulate materials inside the box. Proper glove installation is vital to maintain the integrity of the glove box and protect the user. 글러브 박스는 민감한 물질을 다루거나 제어된 환경이 필요한 과학 분야에서 필수적인 장비입니다. 글러브는 글러브 박스의 핵심 구성 요소로, 작업자가 박스 내부의 물질을 안전하게 조작할 수 있도록 합니다. 글러브를 올바르게 장착하는 것은 글러브 박스의 무결성을 유지하고 사용자를 보호하는 데 매우 중요합니다. Note: This method allows glove changes without affecting the internal atmosphere while the glove box is in operation. 참고: 이 방법은 글러브 박스가 작동 중일 때 내부 분위기에 영향을 주지 않고 글러브를 교체할 수 있는 방법입니다. Glove Installation Procedure 글러브 장착 절차 Here is a step-by-step guide on how to install gloves onto a glove box. 글러브 박스에 글러브를 장착하는 방법에 대한 단계별 안내입니다. Step 1: Prepare the Glove Port 1단계: 글러브 포트 준비 The glove port is where the glove is mounted on the glove box. First, remove any tape or other foreign substances attached to the glove port. 글러브 포트는 글러브 박스에 글러브를 장착하는 지점입니다. 먼저 글러브 포트에 붙어 있는 테이프나 기타 이물질을 제거합니다. Then, remove the two O-rings from the glove port. 그런 다음 글러브 포트의 O-링 2개를 탈거합니다. Step 2: Insert the Glove 2단계: 글러브 삽입 Move one O-ring to the outside of the glove port. O-링 하나를 글러브 포트 바깥쪽으로 옮깁니다. Push the glove into the glove port. Ensure that the glove is fully inserted into the glove port. 글러브를 글러브 포트 안쪽으로 밀어 넣습니다. 글러브가 글러브 포트에 완전히 삽입되었는지 확인합니다. Step 3: Assemble the O-ring 3단계: O-링 조립 Assemble the O-ring into the O-ring groove inside the glove port. 글러브 포트 안쪽에 있는 O-링 홈에 O-링을 조립합니다. Remove the glove O-ring located inside the glove. 글러브 안쪽에 있는 글러브 O-링을 탈거합니다. Step 4: Assemble the Glove Exterior 4단계: 글러브 외부 조립 Remove the glove with the O-ring to the outside through the antechamber. 안티챔버를 통해 글러브를 바깥쪽으로 O-링과 함께 탈거합니다. Assemble the O-ring removed through the antechamber to the outside glove port. 안티챔버를 통해 탈거한 O-링을 바깥쪽 글러브 포트에 조립합니다. Step 5: Final Check 5단계: 최종 점검 Ensure that the glove is securely attached to the glove port. Check that the O-rings are properly assembled. 글러브가 글러브 포트에 단단히 고정되었는지 확인합니다. O-링이 제대로 조립되었는지 확인합니다. Properly installing gloves onto a glove box is essential to maintain the integrity of the equipment and protect the user. By carefully following the steps above, you can install gloves easily and safely. 글러브 박스에 글러브를 올바르게 장착하는 것은 장비의 무결성을 유지하고 사용자를 보호하는 데 필수적입니다. 위의 단계를 주의 깊게 따르면 글러브를 쉽고 안전하게 장착할 수 있습니다. For more information on glove boxes and glove installation, please visit our website or contact us. 글러브 박스 및 글러브 장착에 대한 자세한 내용은 당사 웹사이트를 방문하거나 당사로 문의해 주시기 바랍니다. Contact : dawoovac@dawoovac.com  / 042-936-1415

Repair Process of Thermal Evaporator System at K University K대학 Thermal Evaporator System 수리 과정 Dawoovac  introduces the repair process of the Thermal Evaporator System installed at K University. 다우백 은 오늘 K대학에 설치된 Thermal Evaporator System의 수리 과정을 소개합니다.     1. Problem Situation 1. 문제 상황 The following problems occurred in the Thermal Evaporator located inside the glove box: 글러브 박스 내부의 Thermal Evaporator에 다음과 같은 문제가 발생했습니다.     The leak rate was only 8.0×10^−5 Torr. 누설량(Leak Rate)이 8.0×10^−5 Torr 밖에 되지 않습니다.     The lifespan of the gauge was shortened due to internal dust.   내부 먼지(Dust)로 인해 게이지 수명이 단축됩니다.        Frequent hunting phenomenon occurred in the boat. 보트(Boat)의 hunting 현상이 빈번하게 발생합니다.     2. Disassembly and Inspection 2. 분해 및 점검 First, the system was disassembled to check the dust condition on the inner surface, and the Thermal Evaporator was disassembled. 먼저 시스템을 분해하여 내부 표면의 먼지 상태를 확인하고 Thermal Evaporator를 분해했습니다.     3. Part Machining and Reassembly 3. 부품 가공 및 재조립 Parts of the Thermal Evaporator were machined and reassembled for surface polishing. 표면 polishing을 위해 Thermal Evaporator의 부품을 가공하고 재조립했습니다.     4. How to Operate the Thermal Evaporator 4. Thermal Evaporator 작동법 Main On:  Turn on the main power. Main On:  메인 전원을 켭니다. R.P On:  Turn on the power of the Rotary Pump. R.P On:  Rotary Pump의 전원을 켭니다. F.V On:  Turn on the Foreline Valve for about 5 minutes to evacuate the chamber up to where the Main Valve is closed. F.V On:  Foreline Valve를 5분 정도 켜서 Main Valve가 닫힌 곳까지 진공을 뽑습니다. F.V Off:  Turn off the Foreline Valve. F.V Off:  Foreline Valve를 끕니다. R.V On:  Turn on the Roughing Valve and wait until the vacuum level reaches 5.0×10^−3 Torr within 10 minutes. (Low vacuum state) R.V On:  Roughing Valve를 켜고 10분 이내에 5.0×10^−3 Torr까지 진공을 뽑습니다. (저진공 상태) R.V Off:  Turn off the Roughing Valve when the vacuum level reaches R.V Off:  5.0×10−3 Torr에 도달하면 Roughing Valve를 끕니다. F.V On:  Turn on the Foreline Valve. F.V On:  Foreline Valve를 켭니다. T.M.P On:  Turn on the Turbo Molecular Pump and check the temperature (below 30℃) and frequency (935KHz). T.M.P On:  Turbo Molecular Pump를 켜고 온도(30℃ 이하)와 주파수(935KHz)를 확인합니다. M.V On:  If the vacuum level is 5.0×10−3 Torr, turn on the Main Valve. M.V On:  진공 상태가 5.0×10−3 Torr이면 Main Valve를 켭니다. ION Gauge On:  If the vacuum level is above 5.0×10−4 Torr, turn on the Ion Gauge. ION Gauge On:  진공 상태가 5.0×10−4 Torr 이상이면 Ion Gauge를 켭니다. M.V Off:  Turn off the Main Valve when stopping the T.M.P after the work is completed. M.V Off:  작업 종료 후 T.M.P를 멈출 때 Main Valve를 끕니다.     ION Gauge Off:  Turn off the Ion Gauge before stopping the T.M.P. ION Gauge Off:  T.M.P를 멈추기 전에 Ion Gauge를 끕니다.     T.M.P Stop:  Stop the T.M.P and wait for 30 minutes. (Keep the F.V on) T.M.P Stop:  T.M.P를 멈추고 30분 동안 대기합니다. (F.V는 On 상태 유지)     F.V Off:  Turn off the Foreline Valve. F.V Off:  Foreline Valve를 끕니다.     5. Additional Information 5. 추가 정보 Internal view of the Thermal Evaporator Thermal Evaporator 내부 모습 Height between the tungsten boat and the mask holder (H = 300mm) 텅스텐 보트와 마스크 홀더 사이의 높이 (H = 300mm) Mask holder size 마스크 홀더 사이즈 Dawoovac  always does its best for customer satisfaction. We welcome any inquiries about our products and services. 다우백 은 항상 고객 만족을 위해 최선을 다하고 있습니다.  제품 및 서비스에 대한 문의는 언제든지 환영합니다. Contact : dawoovac@dawoovac.com / 042-936-1415

KAIST Glove Box & Solvent Trap Repair: Dawoovac's Solution for 2nd Battery Research KAIST 2차 전지 연구용 글러브 박스 및 솔벤트 트랩 수리: 다우백의 솔루션 Dawoovac Optimizes KAIST Glove Box Performance with Ring Blower Upgrade 다우백, 링 블로워 업그레이드로 KAIST 글러브 박스 성능 최적화 KAIST에 설치된 2차 전지 연구용 Glove Box 1.0 정면 사진 Dawoovac recently completed a challenging repair project at KAIST, involving a Glove Box and Solvent Trap system used for secondary battery research. This case study highlights how Dawoovac's expertise resolved critical issues, enhancing the system's performance and lifespan. 다우백은 최근 KAIST에서 2차 전지 연구에 사용되는 글러브 박스 및 솔벤트 트랩 시스템에 대한 수리 프로젝트를 완료했습니다. 이 사례 연구는 다우백의 전문 지식이 어떻게 중요한 문제를 해결하고 시스템의 성능과 수명을 향상시켰는지 강조합니다. KAIST researchers faced multiple issues with their glove box system: persistent odors, rising PPM levels (indicating potential leaks or purification issues), and a malfunctioning, overheating circulation blower, jeopardizing research integrity. KAIST 연구원들은 글러브 박스 시스템에서 지속적인 냄새, PPM 수치 상승, 순환 블로워 오작동 및 과열 등 여러 문제에 직면하여 연구 무결성에 우려가 있었습니다. Dawoovac's expert technicians identified the root causes and implemented a comprehensive solution: 다우백은 근본 원인을 파악하고 포괄적인 솔루션을 구현했습니다. 수리를 위해 분해된 Glove Box 1.0 내부 부품: 필터, 촉매 등 Glove Box 1.0 헤드 사진 Glove Box 1.0 프레임 사 Odor Elimination: Complete disassembly, 2-3 cycle heat treatment of components, and repainting ensured a contaminant-free environment. 냄새 제거: 완전 분해, 구성 요소에 대한 2~3회 열처리 및 재도장을 통해 오염 물질이 없는 환경을 보장했습니다. Glove Box 1.0에 설치되어 있던 기존 시로코팬 (100mm H2O) 정면 Glove Box 1.0 기존 시로코팬 (100mm H2O) 도면 Circulation Blower Analysis & Back Pressure Solution: The existing Sirocco fan (rated for 100mm H2O) was identified as a key problem. Sirocco fans are susceptible to performance degradation in closed-loop systems like glove boxes due to back pressure – the resistance to airflow caused by components like filters and catalysts.  This back pressure was causing the fan to overheat and fail to adequately circulate and filter the atmosphere. 순환 블로워 분석 및 배압 솔루션: 기존 시로코 팬(100mm H2O 등급)이 주요 문제로 확인되었습니다. 시로코 팬은 필터 및 촉매와 같은 구성 요소로 인한 공기 흐름 저항인 배압으로 인해 글러브 박스와 같은 폐쇄 루프 시스템에서 성능 저하에 취약합니다. 이 배압으로 인해 팬이 과열되고 대기를 적절하게 순환 및 여과하지 못했습니다. Glove Box 1.0 기존 시로코팬 (100mm H2O) 측면 새로 설치된 링 블로워 (1500-5000mm H2O) 측면 Ring Blower Upgrade:  Dawoovac replaced the Sirocco fan with a high-performance Ring Blower, specifically designed to handle back pressure effectively (rated for 1500-5000mm H2O).  Ring Blowers offer significantly longer lifespans (4-5 times) than Sirocco fans in such applications. 링 블로워 업그레이드: 다우백은 시로코 팬을 배압을 효과적으로 처리하도록 특별히 설계된 고성능 링 블로워(1500-5000mm H2O 등급)로 교체했습니다. 링 블로워는 이러한 응용 분야에서 시로코 팬보다 수명이 훨씬 더 깁니다(4-5배). Glove Box 1.0용으로 Dawoovac이 설계한 열교환기 도면 Glove Box 1.0에 설치된 Dawoovac의 맞춤형 열교환기 Heat Exchanger Integration: A custom-designed heat exchanger was added for optimal temperature control. 열교환기 통합: 최적의 온도 제어를 위해 맞춤 설계된 열교환기가 추가되었습니다. Dawoovac's solution provides: Long-Term Cost Savings: Reduced maintenance and replacement from extended Ring Blower lifespan. Precise Temperature Control: Stable and predictable environment for sensitive experiments. Enhanced Component Longevity: Minimized wear and tear due to optimized operating conditions. Odor-Free Environment:  Safe and productive workspace. 다우백의 솔루션은 다음과 같은 이점을 제공합니다. 장기적인 비용 절감: 링 블로워 수명 연장으로 유지 보수 및 교체 비용 절감. 정밀한 온도 제어: 민감한 실험을 위한 안정적이고 예측 가능한 환경. 향상된 구성 요소 수명: 최적화된 작동 조건으로 마모 최소화. 냄새 없는 환경: 안전하고 생산적인 작업 공간. The upgraded system, incorporating the Ring Blower and heat exchanger, resolved all prior issues. The glove box now operates flawlessly, maintaining a stable, odor-free, and temperature-controlled environment. 링 블로워와 열교환기를 통합한 업그레이드된 시스템은 이전의 모든 문제를 해결했습니다. 이제 글러브 박스는 흠잡을 데 없이 작동하여 안정적이고 냄새가 없으며 온도가 제어된 환경을 유지합니다. Facing similar challenges with your research equipment? Contact Dawoovac today to discuss a customized solution. 연구 장비와 관련하여 유사한 문제에 직면하고 계십니까? 지금 다우백에 문의하여 맞춤형 솔루션에 대해 논의하세요. Email: dawoovac@dawoovac.com Phone: 042-936-1415

Palladium Deposition Sputter RF Sputter Control box (19" rack) SPUTTER Operation Procedure Turn on the Foreline Valve for about 5 minutes, then turn on the Roughing Valve and wait until the base pressure reaches a low vacuum level (0.01–0.005 Torr). Foreline Valve를 약 5분간 켜고, Roughing Valve를 켠 후 저진공 베이스 압력0.01~0.005 Torr에 도달할 때까지 기다립니다. When the desired low vacuum base pressure (0.01–0.005 Torr) is reached: Open the Foreline Valve. Turn on the T.M.P Power and wait until the system reaches normal RPM. Open the Main Valve, followed by the Through Valve. Turn on the high-vacuum gauge and wait until the high-vacuum base pressure (0.0005–0.00005 Torr) is achieved. Turn off the high-vacuum gauge. 원하는 저진공 베이스 압력(0.01~0.005 Torr)에 도달하면: Foreline Valve를 엽니다. T.M.P Power를 켜고 시스템이 정상 RPM에 도달할 때까지 기다립니다. Main Valve를 열고, 이어서 Through Valve를 엽니다. 고진공 게이지를 켜고 고진공 베이스 압력(0.0005~0.00005 Torr)에 도달할 때까지 기다립니다. 고진공 게이지를 끕니다. Close the Through Valve, and set the process flow rate using the MFC (Mass Flow Controller) to '20–150 SCCM'. Then introduce Ar Gas. Through Valve를 닫고, MFC(질량 유량 제어기)를 사용하여 공정 유량 값을 '20~150 SCCM'으로 설정한 후 Ar Gas를 주입합니다. Adjust the pressure using the Through Valve until the low vacuum base pressure (0.003–0.008 Torr) is reached. (Turn on the Rotate and Heater). Through Valve를 이용해 압력을 조정하여 저진공 베이스 압력(0.003~0.008 Torr)에 도달할 때까지 조정합니다. (Rotate 및 Heater를 켭니다.) Once the process conditions are set: Open the shutter, set the RF Power to the desired level (W), and then open the main shutter. 공정 조건이 완료되면: 셔터를 열고 RF Power를 원하는 출력(W)으로 설정한 후 메인 셔터를 엽니다. Observe the plasma and note its color. 플라즈마를 관찰하고 색상을 확인합니다. After deposition for the desired duration, reduce the RF Power, and after 5 minutes, turn it off. 원하는 시간만큼 증착한 후 RF Power를 낮추고, 5분 후 RF Power를 끕니다. Turn off the Rotate, Heater, Shutter, and Gas Valve. Rotate, Heater, Shutter, Gas Valve를 끕니다. Open the Through Valve to pump out residual gas and remaining vapor. Through Valve를 열어 잔여 가스와 남아있는 증기를 펌핑합니다. After pumping is complete: Close the Through Valve and Main Vacuum Valve. Wait for the T.M.P RPM to decrease (approximately 30 minutes), then close the Foreline Valve. 펌핑이 완료되면: Through Valve와 Main Vacuum Valve를 닫습니다. T.M.P RPM이 감소할 때까지 기다린 후(약 30분) Foreline Valve를 닫습니다. Vent the chamber until the internal pressure reaches atmospheric pressure. 챔버 내부 압력을 대기압 상태로 배기합니다. Open the chamber and inspect if the process was successful. 챔버를 열어 공정이 잘 완료되었는지 확인합니다. Target : 2 inch Paladium Sputter System Features This sputter system offers: Heating and cooling options for precise process control. Adjustable substrate rotation speed, providing enhanced process uniformity. 이 스퍼터 시스템은: 정밀한 공정 제어를 위한 히팅(Heating) 및 냉각(Cooling) 옵션 제공. 공정 균일성을 높이기 위한 조절 가능한 기판 회전 속도 제공. Part Size and Note Substrate 4 inch Gun (3EA) 2 inch Manual throught valve 282 182 24t / Butterfly type valve Heater 0~150℃ Cooling Cooling control temperature About the Sputter System The sputter system is primarily used for thin film deposition, widely applied in semiconductor and advanced material research. The structure and options of the system can vary depending on the research objectives, allowing customization for specific needs. At DawooVac, we specialize in manufacturing customized sputter systems tailored to meet our customers' unique requirements. We are dedicated to ensuring customer satisfaction, valuing your feedback and opinions. For inquiries or feedback regarding our products or business, please contact us anytime. 스퍼터 시스템에 대해 스퍼터 시스템은 주로 박막 증착에 사용되며, 반도체 및 첨단 소재 연구에서 널리 활용됩니다. 연구 목적에 따라 시스템의 구조와 옵션이 달라질 수 있어, 특정 요구 사항에 맞게 커스터마이징이 가능합니다. 다우백은 고객의 요구 사항에 맞춘 맞춤형 스퍼터 시스템 제작을 전문으로 하고 있습니다. 저희는 항상 고객 만족을 위해 노력하며, 고객의 의견을 소중히 여깁니다. 제품이나 비즈니스 관련 문의 또는 피드백은 언제든지 연락 주시기 바랍니다. ​ Email: dawoovac@dawoovac.com Phone: 042-936-1415

Dawoovac provides overhaul services for electrode components of the Thermal Plasma System, a core part of the graphene quantum dot manufacturing equipment, to maintain optimal equipment performance and extend its lifespan. 다우백은 그라핀 양자점 제조 장치의 핵심 부품인 Thermal Plasma System 전극 부품에 대한 Overhaul 서비스를 제공하여 장비의 성능을 최적의 상태로 유지하고 수명을 연장합니다. Based on years of experience and expertise, we accurately diagnose problems in electrode components and support customers in maintaining maximum efficiency of their equipment through necessary part replacement and repair. 오랜 경험과 전문적인 기술을 바탕으로 전극 부품의 문제점을 정확하게 진단하고, 필요한 부품 교체 및 수리를 통해 고객의 장비가 최상의 효율성을 유지하도록 지원합니다. Thermal Plasma System Electrode Component Overhaul Process Thermal Plasma System 전극 부품 Overhaul 과정 Electrode Component Disassembly and Cleaning:  We disassemble and clean the electrode components from the equipment. 전극 부품 분해 및 세척:  장치에서 전극 부품을 분해하여 세척합니다.     Electrode Component Repair and Replacement:  We repair damaged parts of the electrode components or replace them with new ones. 전극 부품 수리 및 교체:  전극 부품의 손상된 부분을 수리하거나 새 부품으로 교체합니다.   Electrode Leak Test:  We test the repaired or replaced electrode components for leaks. 전극 리크 테스트:  수리 및 교체된 전극 부품의 리크 여부를 테스트합니다. Electrode Flow Test:  We test the gas flow of the electrode components. 전극 플로워 테스트:  전극 부품의 가스 흐름을 테스트합니다. Benefits of Overhaul Services Overhaul 서비스의 장점 Extended Equipment Lifespan:  Regular overhauls can extend the life of your equipment. 장비 수명 연장:  정기적인 Overhaul을 통해 장비의 수명을 연장할 수 있습니다. Performance Optimization:  Optimizes equipment performance to increase production efficiency. 성능 최적화:  장비의 성능을 최적화하여 생산 효율성을 높입니다.   Safety Assurance:  Ensures a safe operating environment through safety inspections. 안전성 확보:  안전 점검을 통해 안전한 운영 환경을 조성합니다.     Cost Reduction:  Prevents losses due to equipment failure, thereby reducing costs. 비용 절감:  장비 고장으로 인한 손실을 예방하여 비용을 절감할 수 있습니다.     Contact Dawoovac for Overhaul Services 다우백 Overhaul 서비스 문의 Customer satisfaction is our top priority at Dawoovac. We welcome any inquiries or consultations regarding our overhaul services. 다우백은 고객 만족을 최우선으로 생각합니다. Overhaul 서비스에 대한 문의나 상담은 언제든지 환영합니다. Phone:  042-936-1415 Email:   dawoovac@dawoovac.com