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1. Introduction 1. 서론 Integrated systems combining sputtering deposition chambers with glove boxes are crucial for research involving air-sensitive materials. Dawoovac recently undertook a repair and overhaul project for such a complex system at a laboratory, comprising interconnected DC Sputtering, Glove Box, and RF Sputtering units. Maintaining the performance and reliability of these integrated systems requires specialized expertise. This case study details the overhaul process performed by Dawoovac. 스퍼터링 증착 챔버와 글러브 박스를 결합한 연동 시스템은 공기에 민감한 재료를 다루는 연구에 필수적입니다. 다우백은 최근 한 연구실에 설치된 DC 스퍼터링, 글러브 박스, RF 스퍼터링 유닛이 상호 연결된 복합 시스템에 대한 수리 및 오버홀 프로젝트를 수행했습니다. 이러한 연동 시스템의 성능과 신뢰성을 유지하기 위해서는 전문적인 기술력이 요구됩니다. 본 사례 연구는 다우백이 수행한 오버홀 과정을 상세히 설명합니다. 2. System Overview and Initial State 2. 시스템 개요 및 초기 상태 The system consists of a DC sputtering unit, a central glove box, and an RF sputtering unit, allowing for substrate transfer and processing under an inert atmosphere. The initial assessment revealed the need for overhaul to restore optimal performance across the interconnected units. 본 시스템은 DC 스퍼터링 유닛, 중앙 글러브 박스, RF 스퍼터링 유닛으로 구성되어 불활성 분위기 하에서 기판 이송 및 공정 처리가 가능합니다. 초기 진단 결과, 연동된 유닛 전반의 최적 성능 복원을 위해 오버홀이 필요한 상태였습니다. DC - Glove Box - RF 3. Overhaul Process: DC Sputtering System 3. 오버홀 과정: DC 스퍼터링 시스템 The overhaul process for the DC sputtering system involved several key steps. First, the main chamber was disassembled for thorough inspection and cleaning of internal components. After meticulous cleaning and component checks, the chamber was reassembled. To verify performance, a DC gun test was conducted using an Aluminum target under controlled conditions (Gas Flow: 30-40 sccm, Base Pressure: 5times10−2 Torr), confirming stable plasma generation. DC 스퍼터링 시스템의 오버홀은 몇 가지 주요 단계를 포함했습니다. 먼저, 내부 부품의 정밀 검사 및 세척을 위해 메인 챔버를 분해했습니다. 정밀 세척 및 부품 점검 후 챔버를 재조립했습니다. 성능 검증을 위해, 통제된 조건(가스 유량: 30-40 sccm, 기본 압력: 5times10−2 Torr) 하에서 알루미늄 타겟을 사용하여 DC 건 테스트를 수행했으며, 안정적인 플라즈마 생성을 확인했습니다. 4. Overhaul Process: Glove Box System 4. 오버홀 과정: 글러브 박스 시스템 The central glove box unit, crucial for maintaining an inert environment and enabling sample transfer between sputtering systems, underwent necessary inspections and maintenance. This ensured its integrity and proper sealing, as well as seamless interfacing with the adjacent DC and RF sputtering chambers after their respective overhauls. DC 및 RF 스퍼터링 시스템 간의 시료 이송 및 불활성 환경 유지에 핵심적인 역할을 하는 중앙 글러브 박스 유닛에 대해 필요한 검사 및 유지보수를 수행했습니다. 이를 통해 글러브 박스의 기밀성 및 밀봉 상태를 확인하고, 오버홀된 양측 스퍼터링 챔버와의 원활한 연동이 가능하도록 조치했습니다. 5. Overhaul Process: RF Sputtering System 5. 오버홀 과정: RF 스퍼터링 시스템 Similar to the DC system, the RF sputtering unit required disassembly and reassembly of its main chamber for cleaning and component checks. Post-overhaul, an RF gun test was performed using an Indium target (Gas Flow: 40-50 sccm, Base Pressure: 5times10−2 Torr) to confirm the functionality of the RF generator and matching network, achieving stable plasma. DC 시스템과 유사하게, RF 스퍼터링 유닛 또한 세척 및 부품 점검을 위해 메인 챔버의 분해 및 재조립 과정이 필요했습니다. 오버홀 후에는 인듐 타겟을 사용하여 RF 건 테스트(가스 유량: 40-50 sccm, 기본 압력: 5times10−2 Torr)를 실시하여 RF 제너레이터 및 매칭 네트워크의 기능을 확인하고 안정적인 플라즈마를 구현했습니다. 6. RF Sputtering System Operating Procedure (General Guide) 6. RF 스퍼터링 시스템 작동 절차 (일반 가이드) The following is a general operating sequence for the RF sputtering system. Specific parameters may vary depending on the process recipe. 다음은 RF 스퍼터링 시스템의 일반적인 작동 순서입니다. 특정 파라미터는 공정 레시피에 따라 달라질 수 있습니다. Turn on Foreline valve for approx. 5 min, then turn on Roughing valve and wait until low vacuum base pressure (0.01-0.005 Torr) is reached. Foreline 밸브를 약 5분간 켠 후, Roughing 밸브를 켜고 저진공 기본 압력(0.01-0.005 Torr)까지 기다립니다. Once base pressure is reached, open Foreline valve, turn on T.M.P power, wait for normal RPM, open Main valve, open Through valve. Turn on high vacuum gauge, wait for high vacuum base pressure (0.0005-0.00005 Torr), then turn off high vacuum gauge. 기본 압력 도달 시, Foreline 밸브 열고, T.M.P 전원 켜고 정상 RPM까지 대기 후, Main 밸브 열고, Through 밸브 엽니다. 고진공 게이지 켜고 고진공 기본 압력(0.0005-0.00005 Torr) 도달 후 고진공 게이지를 끕니다. Close Through valve, set Ar gas flow using MFC ('20-150 SCCM' range), introduce Ar gas. Through 밸브를 닫고, MFC를 이용하여 Ar 가스 유량 설정('20-150 SCCM' 범위) 후 Ar 가스를 주입합니다. Adjust Through valve to reach process pressure (typically 0.003-0.008 Torr). (Turn on Rotate, Heater if needed). Through 밸브를 조절하여 공정 압력(일반적으로 0.003-0.008 Torr)에 맞춥니다. (필요시 Rotate, Heater 켭니다.) When conditions are ready, open Shutter, set desired RF power (W), then open Main shutter. 조건 완료 시, Shutter 열고, 원하는 RF 전력(W) 설정 후 Main shutter를 엽니다. Observe plasma color. 플라즈마 색상을 관찰합니다. After desired deposition time, reduce RF Power, wait 5 min, then turn off RF power. 원하는 증착 시간 후, RF 전력을 줄이고, 5분 후 RF 전원을 끕니다. Close Rotate, Heater, Shutter, Gas valve. Rotate, Heater, Shutter, Gas 밸브를 닫습니다. Open Through valve to pump out residual gas and vapor. Through 밸브를 열어 잔여 가스 및 증기를 펌핑합니다. When pumping is complete, close Through and Main vacuum valves. Wait for T.M.P RPM to decrease (approx. 30 min), then close Foreline valve. 펌핑 완료 시, Through 및 Main 진공 밸브를 닫습니다. T.M.P RPM 감소(약 30분) 후 Foreline 밸브를 닫습니다. Vent the chamber to atmospheric pressure. 챔버를 대기압까지 Venting 합니다. Open chamber and check process results. 챔버를 열고 공정 결과를 확인합니다. 7. System Re-integration and Final State 7. 시스템 재연동 및 최종 상태 Following the successful overhaul of the individual DC and RF sputtering units and maintenance of the glove box, the systems were carefully re-integrated. Final checks confirmed the overall functionality and restored performance of the complete integrated system, ready for research operations at the laboratory. 개별 DC 및 RF 스퍼터링 유닛의 성공적인 오버홀과 글러브 박스 유지보수 후, 시스템들은 신중하게 재연동되었습니다. 최종 점검을 통해 전체 연동 시스템의 기능과 복원된 성능을 확인하였으며, 한 연구실에서의 연구 운영 준비를 완료했습니다. 8. Conclusion 8. 결론 This project highlights Dawoovac's capability in successfully overhauling complex, multi-component research systems. Through systematic disassembly, cleaning, component replacement, and rigorous testing, the integrated DC/RF Sputtering and Glove Box system at a laboratory was fully restored to optimal operational condition. Dawoovac is committed to providing high-quality maintenance and repair services for advanced research equipment. 본 프로젝트는 복잡한 다중 구성 요소 연구 시스템을 성공적으로 오버홀하는 다우백의 역량을 보여줍니다. 체계적인 분해, 세척, 부품 교체 및 엄격한 테스트를 통해 한 연구실의 DC/RF 스퍼터링 및 글러브 박스 연동 시스템은 최적의 작동 상태로 완벽하게 복원되었습니다. 다우백은 첨단 연구 장비에 대한 고품질 유지보수 및 수리 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 9. Inquiries and Services 9. 기술 문의 및 서비스 For inquiries regarding sputtering system overhauls, glove box services, or other vacuum technology support, please contact Dawoovac. 스퍼터링 시스템 오버홀, 글러브 박스 서비스 또는 기타 진공 기술 지원에 대한 문의는 다우백으로 연락 주시기 바랍니다.

1. Introduction 1. 서론 Turbo Molecular Pumps (TMPs) are critical components for achieving high vacuum in various research and industrial applications. Regular overhauls are essential to maintain their optimal performance, ensure reliability, and extend their operational lifespan. Dawoovac recently received an Adixen (Alcatel) ATP400 model TMP for standard overhaul service. This post outlines the initial inspection, diagnosis, and required service procedures based on the findings. 터보 분자 펌프(TMP)는 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 고진공 환경을 달성하기 위한 핵심 부품입니다. 펌프의 최적 성능 유지, 신뢰성 확보 및 작동 수명 연장을 위해서는 정기적인 오버홀(Overhaul)이 필수적입니다. 다우백(Dawoovac)은 최근 표준 오버홀 서비스를 위해 Adixen(Alcatel) ATP400 모델 TMP를 입고 받아 정밀 진단을 수행했습니다. 본 게시물은 해당 펌프의 초기 검사, 진단 결과 및 필요한 서비스 절차를 개괄적으로 설명합니다. 2. Initial Inspection and Disassembly 2. 초기 검사 및 분해 Upon receiving the Adixen ATP400 pump, an initial visual inspection was performed. Subsequently, Dawoovac's experienced technicians proceeded with a systematic disassembly process to allow for detailed inspection of internal components. Adixen ATP400 펌프 입고 후 초기 외관 검사를 진행했습니다. 이어서, 다우백의 숙련된 기술팀은 내부 부품의 정밀 검사를 위해 체계적인 분해 절차를 수행했습니다. 3. Component Assessment 3. 부품 정밀 진단 Detailed examination of the disassembled parts revealed several conditions requiring attention: 분해된 부품에 대한 정밀 검사 결과, 다음과 같은 주요 문제점들이 확인되었습니다. Rotor and Shaft:  Inspected before cleaning to assess general condition and potential damage. 로터 및 샤프트:  세척 전 상태 검사를 통해 전반적인 상태 및 손상 가능성을 평가했습니다. Stator/Spacer Set:  Significant contamination was observed on the stator and spacer components, which can impede pump performance. 스테이터/스페이서 세트:  스테이터 및 스페이서 부품에서 심각한 오염이 관찰되었으며, 이는 펌프 성능 저하의 원인이 될 수 있습니다. Motor:  Inspected before cleaning. 모터:  세척 전 상태를 검사했습니다. Bearings:  The ceramic ball bearings were found to be broken, a critical failure requiring immediate replacement. 베어링:  세라믹 볼 베어링이 파손된 상태로 확인되었으며, 이는 즉각적인 교체가 필요한 심각한 문제입니다. Serial Number / Connector:  Documented for service records. 시리얼 넘버 / 커넥터:  서비스 기록을 위해 해당 정보를 확인했습니다. 4. Overhaul Requirements and Recommended Actions 4. 오버홀 필요 사항 및 조치 Based on the component assessment, a standard overhaul (O/H) procedure is required for this Adixen ATP400 pump. The necessary actions include: 부품 진단 결과에 따라, 이 Adixen ATP400 펌프에는 표준 오버홀(O/H) 절차가 필요합니다. 필수적인 조치 사항은 다음과 같습니다. Thorough Cleaning:  All disassembled parts must be meticulously cleaned to remove contamination. 정밀 세척:  분해된 모든 부품의 오염 물질 제거를 위한 정밀 세척이 필요합니다. Bearing Replacement:  The broken ceramic ball bearings (2 pcs) must be replaced with new ones. 베어링 교체:  파손된 세라믹 볼 베어링(2개)은 신품으로 반드시 교체해야 합니다. O-ring Set Replacement:  Standard procedure involves replacing the O-ring set to ensure proper sealing. O-링 세트 교체:  적절한 밀봉(Sealing) 성능 확보를 위해 O-링 세트 교체가 표준 절차에 포함됩니다. 5. Benefits of Overhaul 5. 오버홀의 효과 Performing these overhaul procedures will restore the Adixen ATP400 pump's performance, potentially improving ultimate vacuum levels and pumping speed. Replacing wear parts like bearings and O-rings significantly enhances the pump's reliability, extends its operational lifespan, and helps prevent costly unscheduled downtime due to unexpected failures. 이러한 오버홀 절차를 수행하면 Adixen ATP400 펌프의 성능이 복원되어 도달 진공도 및 펌핑 속도가 개선될 수 있습니다. 베어링 및 O-링과 같은 마모 부품을 교체하면 펌프의 신뢰성이 크게 향상되고 작동 수명이 연장되며, 예기치 않은 고장으로 인한 비용 손실 및 가동 중단을 예방하는 데 도움이 됩니다. 6. Conclusion 6. 결론 The initial assessment of the Adixen ATP400 Turbo Molecular Pump indicated the necessity for a standard overhaul, focusing on component cleaning and the replacement of critical wear parts, particularly the broken bearings. Dawoovac possesses the specialized expertise and facilities required to perform comprehensive overhauls on various TMP models, ensuring restored performance and extended reliability for critical vacuum systems. Adixen ATP400 터보 분자 펌프의 초기 진단 결과, 부품 세척 및 핵심 마모 부품(특히 파손된 베어링) 교체에 중점을 둔 표준 오버홀이 필요한 것으로 나타났습니다. 다우백은 다양한 TMP 모델에 대한 포괄적인 오버홀 수행에 필요한 전문 기술과 설비를 갖추고 있으며, 이를 통해 핵심 진공 시스템의 성능 복원과 신뢰성 향상을 보장합니다. 7. Inquiries and Services 7. 기술 문의 및 서비스 For inquiries regarding Turbo Molecular Pump overhauls or other vacuum technology services provided by Dawoovac, please contact us. We are dedicated to providing high-quality service and support for your vacuum system needs. 다우백에서 제공하는 터보 분자 펌프 오버홀 또는 기타 진공 기술 서비스에 대한 문의는 아래 연락처로 연락 주시기 바랍니다. 고객의 진공 시스템 요구에 부응하는 고품질 서비스와 지원을 제공하기 위해 최선을 다하겠습니다.

1. Introduction 1. 서론 Safe exhausting of contaminated gases and oil mist generated during the operation of laboratory equipment such as Oil Rotary Pumps and Glove Boxes is essential for maintaining a safe research environment and ensuring equipment longevity. Dawoovac provides expert services for designing and installing effective exhaust solutions, including In-Line Exhaust Fan systems, tailored to meet these requirements. This post details the specifications, components, and an installation case study of an In-Line Fan system implemented by Dawoovac. 오일 로터리 펌프(Oil Rotary Pump) 및 글러브 박스(Glove Box)와 같은 실험실 장비 운용 시 발생하는 오염된 가스와 오일 미스트를 안전하게 배출하는 것은 안전한 연구 환경 유지 및 장비 수명 확보에 필수적입니다. 다우백(Dawoovac)은 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 인라인 배기 팬(In-Line Fan) 시스템을 포함한 효과적인 배기 솔루션의 설계 및 설치 전문 서비스를 제공합니다. 본 게시물은 다우백에서 설치한 인라인 배기 팬 시스템의 주요 사양, 구성 요소 및 설치 사례를 상세히 다룹니다. 2. System Overview 2. 시스템 개요 The In-Line Exhaust Fan system is designed to be directly connected to the exhaust line of laboratory equipment. Its primary function is to capture and safely vent potentially hazardous or contaminating gases and oil mist aerosols to the exterior. This system contributes to maintaining a clean and safe working environment through efficient airflow and integrated filtration capabilities. 본 시스템에 적용된 인라인 배기 팬은 실험 장비의 배기 라인에 직접 연결되어, 내부에서 발생하는 잠재적 유해 가스 및 에어로졸 형태의 오일 미스트를 포집하여 외부로 안전하게 배출하도록 설계되었습니다. 효율적인 공기 흐름과 필터링 기능을 통해 청결하고 안전한 작업 환경 유지에 기여합니다. 3. Technical Specifications 3. 기술 사양 The key technical specifications for the In-Line Exhaust Fan model used in this installation case are presented below: 본 설치 사례에 적용된 인라인 배기 팬 모델의 주요 기술 사양은 다음과 같습니다. Specification Value Model Type In-Line Fan Power Consumption 55 W Current 0.25 A Maximum Airflow 960,m3/h Maximum Static Pressure 20,mmH_2O Duct Size phi200,mm Primary Filter Size 274,mmtimes298,mm Secondary Filter (Fiber) Size 274,mmtimes298,mm 4. Filtration System 4. 필터 시스템 A two-stage filtration system is incorporated for effective removal of contaminants: 효과적인 오염 물질 제거를 위해 2단계 필터 시스템이 적용되었습니다: Primary Filter:  Primarily captures larger oil mist particles, reducing the load on the secondary filter and extending its lifespan. 1차 필터:  상대적으로 큰 입자의 오일 미스트를 우선적으로 포집하여 후단 필터의 부하를 줄이고 수명을 연장시킵니다. Secondary Filter (Fiber Filter):  Filters finer particles and residual contaminants that pass through the primary filter, ensuring the cleanliness of the exhausted air. 2차 필터 (섬유 필터):  1차 필터를 통과한 미세 입자 및 잔여 오염 물질을 정밀하게 여과하여 배출 공기의 청정도를 확보합니다. Correct installation, ensuring the primary filter faces the fan according to the airflow direction, is crucial for optimal performance. 필터 조립 시에는 공기 흐름 방향을 고려하여 1차 필터가 팬 방향으로 향하도록 정확하게 설치하는 것이 중요합니다. 5. Key Components 5. 주요 구성 요소 Inlet Ports:  Connection points for exhaust lines from contaminant sources, such as oil mist traps or glove box vents. 흡입구:  오일 미스트 트랩 또는 글러브 박스 배기 라인 등 오염 가스 발생원과 연결되어 가스를 시스템 내부로 유입시키는 포트입니다. Drain Valve:  Allows for the periodic draining of collected liquid oil or condensate from the filter system. 드레인 밸브:  필터 시스템에서 포집된 액상의 오일이나 응축수를 배출하기 위한 밸브입니다. 6. Installation Case Study 6. 설치 사례 연구 The following images illustrate the installation process of the In-Line Exhaust Fan system at a client's facility. The system inlets were connected to the target equipment's exhaust lines. The exhaust ducting was safely routed to the exterior through a custom-fabricated stainless steel (SUS) panel fitted into a window frame. Post-installation checks confirmed the system's normal operation and stable exhaust performance. 다음은 실제 연구 시설 현장에 인라인 배기 팬 시스템을 설치한 사례입니다. 시스템 흡입구는 대상 장비의 배기 라인에 연결되었으며, 배출 덕트는 창문에 맞춤 제작된 스테인리스 스틸(SUS) 판재를 통해 외부로 안전하게 설치되었습니다. 설치 완료 후 시운전을 통해 시스템의 정상적인 작동과 안정적인 배기 성능을 확인하였습니다. 7. Conclusion 7. 결론 Implementing a reliable exhaust system is crucial for ensuring air quality and safety within laboratory environments. Dawoovac leverages its extensive experience and technical expertise to provide optimized exhaust solutions, including In-Line Fan systems, tailored to specific equipment and facility requirements. Our professional installation services contribute to enhancing our clients' research environments. 효과적인 배기 시스템 구축은 실험실 내 공기질 관리와 안전 확보를 위해 필수적입니다. 다우백은 다년간의 경험과 기술력을 바탕으로 고객의 특정 장비 및 실험 환경에 최적화된 인라인 배기 팬 시스템을 포함한 다양한 배기 솔루션을 제안하고, 전문적인 설치 서비스를 제공하여 고객의 연구 환경 개선에 기여하고 있습니다. 8. Inquiries and Services 8. 기술 문의 및 서비스 For further information or technical consultation regarding Dawoovac's In-Line Exhaust Fan systems and related services, please contact us using the details below. We are committed to providing the best solutions to meet your needs. 다우백의 인라인 배기 팬 시스템 및 관련 서비스에 대한 추가 정보나 기술 상담이 필요하시면 아래 연락처로 문의해 주시기 바랍니다. 고객의 요구에 부응하는 최적의 솔루션을 제공하기 위해 항상 노력하겠습니다.

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